Pakej analisis data mikrolitografi yang mampu memuatkan set data jenis Bossung, juga dikenali sebagai matriks pendedahan fokus. Kata kunci: Litografi, Photolithography, Photoresist, Tetingkap Proses, Dimensi Kritikal, CD, Bossung, FEM
sejarah versi
- Versi N/A diposkan pada 2011-08-11
Beberapa pembaikan dan pengemaskinian - Versi N/A diposkan pada 2011-08-11
Butiran Atur Cara
- Kategori: Pembangunan > Lain
- Penerbit: freedata.sf.net
- Lesen: Percuma
- Harga: N/A
- Versi: Array
- Platform: windows