Atur cara mengikut opensecs.sf.net

FREESECS adalah projek sumber terbuka untuk piawaian SEMI SECS. Perisian ini disusun dengan autotool GNU / GCC dan berjalan di Linux OS. FREESECS termasuk HSMS-SS (SEMI E37.1), SECSII (SEMI E5), 300mm & Interface A (diran